鉅大LARGE | 點(diǎn)擊量:2331次 | 2023年05月17日
激光蝕刻技術(shù)原理及典型應(yīng)用
激光蝕刻技術(shù)技術(shù)原理
激光蝕刻的基本原理是將高光束質(zhì)量的小功率激光(一般為紫外線激光、光纖激光)聚焦在極小的光點(diǎn)上,在焦點(diǎn)上形成高功率密度,使材料瞬間蒸發(fā),形成孔、槽、槽,形成極小的功率密度。激光微納切割、切割、腐蝕、鉆孔等工藝。
激光蝕刻技術(shù)技術(shù)特征
以激光非接觸方式加工,高柔性、高速、無噪聲、熱影響區(qū)小、可聚焦至激光波長級(jí)的極小光斑等,在打眼、劃片、刻蝕、切割尺寸精度和加工質(zhì)量方面,尤其是與某些材料(例如聚酰亞胺)相互作用屬于“光化學(xué)作用”的“冷加工”,可獲得無碳化效果的“冷加工”,尤其是與某些材料(如聚酰亞胺)相互作用屬于“光化學(xué)作用”的“冷加工”,可獲得無碳化效果的“冷加工”,特別是與某些材料(如聚酰亞胺)相互作用屬于“光化學(xué)作用”的“冷加工”,可獲得無碳化效果的“冷加工”,特別是與某些材料(如聚酰亞胺)相互作用屬于“光化學(xué)作用”的“冷加工”,可獲得無碳化效果的“冷加工”,特別是與某些材料(如聚酰亞胺)相互作用為“光化學(xué)作用”
激光刻蝕技術(shù)的典型應(yīng)用
充電溫度:0~45℃
-放電溫度:-40~+55℃
-40℃最大放電倍率:1C
-40℃ 0.5放電容量保持率≥70%
1)薄膜激光刻蝕應(yīng)用
好處:
再現(xiàn)性好,功率大,材料去除速度快,無化學(xué)腐蝕污染。ITO涂層激光刻蝕機(jī)是利用激光在ITOGlass和ITOFilm表面表面進(jìn)行ITO涂層刻蝕的精密設(shè)備。能在玻璃、PET、ITO鍍膜、多晶膜及其它氧化物薄膜上進(jìn)行各種不同尺寸的高精度、高速刻蝕,可加工多種規(guī)格的電極。特別適合手機(jī)觸摸屏的電極蝕刻技術(shù)。
玻璃激光蝕刻技術(shù),ITO。
2)太陽能電池激光劃片
標(biāo)稱電壓:28.8V
標(biāo)稱容量:34.3Ah
電池尺寸:(92.75±0.5)* (211±0.3)* (281±0.3)mm
應(yīng)用領(lǐng)域:勘探測(cè)繪、無人設(shè)備
好處:
整體結(jié)構(gòu)合理,切割速度快,精度高,功能齊全,性能指標(biāo)穩(wěn)定可靠,故障率低,非接觸加工成品率高,適用范圍廣。
簡單易行,24小時(shí)長時(shí)間連續(xù)工作,節(jié)能環(huán)保。
利用圖形化用戶界面(GUI),人機(jī)界面友好,能實(shí)時(shí)顯示切割軌跡,操作簡單、直觀。
可選的圖像自動(dòng)識(shí)別處理及定位功能。
太陽電池是一種利用光電效應(yīng)或光化效應(yīng)將能量直接轉(zhuǎn)換為電能的裝置。薄膜太陽能電池生產(chǎn)工藝:基底(TCO導(dǎo)電玻璃)-玻璃磨邊-玻璃清洗-1064激光刻劃-二次清洗-夾具加熱預(yù)熱-PECVD沉積非晶硅薄膜-冷卻夾具-635激光刻劃-PVD磁控濺射-635激光刻劃-測(cè)試-老化-激光清洗-三次清洗-焊接極線-層壓-安裝框架。用于薄膜太陽能電池的激光劃片,熱影響面積小,劃線質(zhì)量好。采用無觸點(diǎn)加工方法避免了刀片加工中產(chǎn)生的應(yīng)力,可有效地提高硅片改片的優(yōu)等品率,同時(shí)也使電池片劃線質(zhì)量得到了很大的提高??蛇x配置CCD圖像處理系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)特殊規(guī)格電池片的精密劃線。
3)激光打磨。
好處:
綠色環(huán)保,無需任何化學(xué)藥品及清潔劑。
無觸點(diǎn)清潔,無機(jī)械力,不變形,效率高,節(jié)省時(shí)間。
可以實(shí)現(xiàn)常規(guī)清洗無法達(dá)到的清潔效果。
也可以有選擇地清洗材料表面的污染物,而不會(huì)損害材料表面。
激光具有快速無污染的特點(diǎn),通過專用控制軟件界面友好,可以同時(shí)完成多種激光工作。適用于非晶硅薄膜太陽電池板周圍鍍膜的絕緣、清除和清洗。
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