鉅大LARGE | 點擊量:1531次 | 2021年01月18日
太陽能電池的制作過程是怎么樣的?
太陽能電池的制作過程
儲量豐富的硅
硅是我們這個星球上儲藏最豐量的材料之一。自從19世紀科學家們發(fā)現了晶體硅的半導體特性后,它幾乎改變了一切,甚至人類的思維。20世紀末,我們的生活中處處可見硅的身影和用途,晶體硅太陽能電池是近15年來形成產業(yè)化最快的。
生產過程
生產過程大致可分為五個步驟:a、提純過程b、拉棒過程c、切片過程d、制電池過程e、封裝過程。
以單晶硅為例,其生產過程可分為:
工序一,硅片清洗制絨
目的表面處理:
清除表面油污和金屬雜質)
去除硅片表面的切割損壞層)
在硅片表面制作絨面,形成減反射織構,降低表面反射率)
利用Si在稀NaOH溶液中的各向異性腐蝕,在硅片表面形成3-6微米的金字塔結構,這樣光照在硅片表面便會經過多次反射和折射,新增了對光的吸收)
工序二,擴散
硅片的單/雙面液態(tài)源磷擴散,制作N型發(fā)射極區(qū),以形成光電轉換的基本結構:PN結。
POCl3液態(tài)分子在N2載氣的攜帶下進入爐管,在高溫下經過一系列化學反應磷原子被置換,并擴散進入硅片表面,激活形成N型摻雜,與P型襯底形成PN結。重要的化學反應式如下:
POCl3+O2(rarr)P2O5+Cl2P2O5+Si(rarr)SiO2+P
工序三,等離子刻邊
去除擴散后硅片周邊形成的短路環(huán))
工序四,去除磷硅玻璃
去除硅片表面氧化層及擴散時形成的磷硅玻璃(磷硅玻璃是指摻有P2O5的SiO2層)。
工序五,PECVD
目的減反射+鈍化:
PECVD即等離子體增強化學氣相淀積設備,PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)
制作減少硅片表面反射的SiN薄膜(~80nm))
SiN薄膜中含有大量的氫離子,氫離子注入到硅片中,達到表面鈍化和體鈍化的目的,有效降低了載流子的復合,提高了電池的短路電流和開路電壓。